新開發(fā)的 VE 系列電容式間隙檢測器和 VT 系列轉(zhuǎn)換器的組合是電容式微位移計，可非接觸式高精度測量到測量對象（鐵、鋁、銅、各種金屬電鍍等導(dǎo)體）的距離和位移。

根據(jù)測量對象面和與其相對安裝的VE系列傳感器電極的端面形成的電容器的靜電電容，測量傳感器端面與目標(biāo)面的間隙、位移。

提供兩種型號：響應(yīng)頻率為 4kHz 的 VT-5210 和支持 10kHz 的 VT-5220。 它可用于測量控制渦輪、電機(jī)和壓縮機(jī)等旋轉(zhuǎn)機(jī)器的軸振動和表面振動、硅晶圓和硬盤等導(dǎo)體的翹起以及平面度和厚度。

由于非接觸式檢測，旋轉(zhuǎn)或振動的測量對象不會承受負(fù)載，也不會改變振動模式。 VE 傳感器提供 9 種類型，測量范圍從 20μm 到 8 mm。

應(yīng)用示例

軸振動測量

表面振動測量

翹性、偏轉(zhuǎn)和平面測量

概要規(guī)格

類型名稱	VT-5210	VT-5220
如何檢測	電容式
輸出	0 ～ 5 V/0 ～ 100 % F.S.
線性	±0.2 % F.S. / 10 ～ 100 % F.S.	±0.25 % F.S. / 10 ～ 100 % F.S.
響應(yīng)頻率	DC ～ 4 kHz	DC ～ 10 kHz
指令部	0 至 100% / 20 分 LED
工作溫度范圍	0 至 +40 °c（精度范圍：23±2 °c）
使用電源	AC 100～240 V 10VA
外形尺寸	95 （W) × 150（H） × 195（D） mm
質(zhì)量	約 2 千克

? F.S.（滿量程）：VE 傳感器的*大測量范圍

VE系列電容式間隙檢測器

標(biāo)準(zhǔn)類型

類型名稱	VE-5010	VE-1020	VE-1520	VE-3020	VE-8020
測量范圍（μm）*1	50 ～ 500	100 ～ 1000	150 ～ 1500	300 ～ 3000	800 ～ 8000
外形（mm）※2	φ6	φ8	φ10	φ20	φ40
電纜長度	1.5 米（電纜集成）		VL-1520/1521 電纜（1.5 米）
溫度系數(shù)	k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5
工作溫度范圍※3	0 ～ +80 ℃

φ10mm 通用夾緊形狀型

型名	VE-2011	VE-5011	VE-1021	VE-3021	VE-8021
測定範(fàn)囲（μm）※1	20 ～ 200	50 ～ 500	100 ～ 1000	300 ～ 3000	800 ～ 8000
外形（mm）※2	φ3	φ6	φ8	φ20	φ40
ケーブル長	別売 VL-1520/1521 ケーブル（1.5m）
溫度係數(shù)	k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5
使用溫度範(fàn)囲※3	0 ～ +80 ℃

※1 測定範(fàn)囲とは、センサ端面から測定対象物までの*大ギャップを表わします。
※2 測定対象物の測定面は、センサ外徑より大きい面積が必要になります。
※3 使用溫度範(fàn)囲とは、センサとして動作可能な溫度範(fàn)囲であり、直線性が保証される溫度範(fàn)囲ではありません。
直線性を確保するためには23±2℃の溫度でご使用ください。

●VL-1520（両端ストレートタイプコネクタ）
●VL-1521（L型コネクタ-ストレートタイプコネクタ）

	超小型?軽量	小型?軽量	小型?高溫	小型?汎用	小型	汎用
構(gòu)造	シェア型	シェア型	シェア型	シェア型	シェア型	シェア型
型名	NP-2106	NP-2110	NP-2710	NP-2910	NP-2810	NP-2120
外観
感度	0.035 pC/(m/s2) ±20 %	0.16 pC/(m/s2) ±2 dB	0.306 pC/(m/s2) ±10 %	0.3 pC/(m/s2) ±20 %	1.2 pC/(m/s2) ±2 dB	5 pC/(m/s2) ±2 dB
靜電容量	580 pF ±20 % （ケーブル含む）	700 pF ±20 % （ケーブル含む）	485 pF	500 pF±20 %	750 pF±20 %	3350 pF±20 %
共振周波數(shù)	60 kHz 以上	約 46 kHz	約 50 kHz	約 63 kHz	約 48 kHz	約 32 kHz
周波數(shù)範(fàn)囲＊2	fc～1 kHz ±5 % fc～6 kHz ±10 % fc～20 kHz ±3 dB	fc～10 kHz ±0.5 dB fc～20 kHz ±3 dB	fc～10 kHz ±5 % fc～20 kHz ±3 dB	fc～10 kHz ±0.5 dB fc～20 kHz ±3 dB	fc～6 kHz ±0.5 dB fc～15 kHz ±3 dB	fc～5 kHz ±0.5 dB fc～12 kHz ±3 dB
*大使用加速度	100,000 m/s2	10,000 m/s2	22,600 m/s2	50,000 m/s2	20,000 m/s2	8000 m/s2
耐衝撃性	100,000 m/s2	100,000 m/s2	98,100 m/s2	100,000 m/s2	30,000 m/s2	16,000 m/s2
使用溫度範(fàn)囲	-50～+160 °C	-20～+160 °C	-71～+260 °C	-20～+160 °C	-20～+160 °C	-20～+140 °C
絶縁抵抗	10,000 MΩ以上 (50 V DC)	10,000 MΩ以上	1000 GΩ以上	10,000 MΩ以上	10,000 MΩ以上	10,000 MΩ以上
質(zhì)量＊3	0.2 g＊3	0.6 g＊3	2 g	2 g	12 g	25 g
接地/絶縁	ケース接地	ケース接地	ケース接地	ケース接地	ケース接地	ケース接地
ケース材質(zhì)	チタン	チタン	チタン	チタン	SUS303	SUS303
外形寸法	φ3.5 × 2.5 H	φ6.5 × 3.7 H	7.9 Hex × 8.4 H	7 Hex × 10 H	12 Hex × 16 H	14 Hex × 23.5 H
コネクタ	ケーブル: 直出し 3 m 徑 φ0.8 mm コネクタ: 10-32同軸 (ミニチュア)	ケーブル: 直出し 3 m 徑 φ1 mm コネクタ: 10-32同軸 (ミニチュア)	5-44同軸 橫出し	M3同軸 (マイクロコネクタ) 橫出し	10-32同軸 (ミニチュア) 上出し	10-32同軸 (ミニチュア) 橫出し
ケーブル	-	-	NP-0160シリーズ	NP-0150シリーズ	NP-0120/0130 シリーズ	NP-0120/0130 シリーズ
取付ネジ	接著	接著	M3オネジ	接著	M5オネジ	M5メネジ
付屬品	取り外し工具 取扱説明書 出荷特性表	取扱説明書 出荷特性表	NP-0162 (3mケーブル) 取扱説明書 出荷特性表	NP-0152A (3mケーブル) 取扱説明書 出荷特性表	NP-031 (マウントベース） 取扱説明書 出荷特性表	M5 x 0.8 L=8 止めネジ 取扱説明書 出荷特性表
外形寸法図
価格 （稅込）	￥ 116,000 (￥ 127,600）	￥ 105,000 （￥ 115,500）	￥ 116,000 (￥ 127,600）	￥ 74,000 （￥ 81,400）	￥ 56,000 （￥ 61,600）	￥ 57,000 （￥ 62,700）

*1：センサ感度は個々のバラつき （個體差）があります、表記値は出荷基準(zhǔn)であり測定精度ではありません。それぞれの感度値に従って校正を行うことにより、どのセンサも同じ條件 · 精度で測定が出來ます。

*2：fcは、チャージアンプとの時定數(shù)によって決まる値です（例：CH-1200Aで使用する場合、fcは 1 Hz(±0.5 dB範(fàn)囲）となります）。

*3：ケーブル含みません。

*4：コネクタ部、ケーブル含みません。

※ NP-2000シリーズの検出器ノイズはCH-1200Aなどのチャージアンプ「入力換算ノイズレベル」になります。

 

NPシリーズ
ケーブル?アクセサリー 

3軸加速度検出器
（電荷出力型/プリアンプ內(nèi)蔵型） 

NP-3000シリーズ
プリアンプ內(nèi)蔵型 加速度検出器 

関連製品

CH-1200A チャージアンプ

CH-6130/6140 チャージコンバータ

VX-1100A 簡易感度校正器

収録?解析
収録	解析	判定
DR-7100 音響振動ポータブルレコーダ	DS-5000/O-Solution 音響振動解析システム	VC-3200/2200 振動コンパレータ
	CF-9200/9400 ポータブル 2/4ch FFTアナライザ	CF-4700 FFTコンパレータ

関連情報

• 振動計関連　製品群概要
• 製品カタログ（PDF）
• 取扱説明書（PDF）
• 外観図（DWG/PDF）
• よくある質(zhì)問 FAQ
• 3軸加速度検出器（電荷出力型/プリアンプ內(nèi)蔵型）
• NP-3000シリーズ 加速度検出器

*終更新日:2022/02/09

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• NP-3000シリーズ 加速度検出器

*終更新日:2022/02/09

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